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研究履歴

Current　Research

バイオチップにおけるDNA濃縮に関しての数値解析手法の開発
ハンドヘルドDNA解析装置の開発
マイクロフューズの最適形状の設計

Paper

• 境界要素法論文集(JASCOME)、Vol. 21, (2004年12月)、論文No. 05-040927、

        和文タイトル:逆解析を利用しためっき膜厚のモニタリング

        英文タイトル:Monitoring of Electroplating Thickness using Inverse Analisys

        著者名:阿部 馨督、天谷 賢治、青木 繁

        ページ:23-26

• 日本機械学会論文集(Transactions of the Japan Society of Mechanical Engineers) A編 70巻689号(2004-1,平成16年1月)、論文No.02-1456

和文タイトル:薄板構造を含むポテンシャル場に対する特別な重み関数を利用した境界要素法解析

英文タイトル:Potential Field BEM Analysis for Thin Structure by Special Weighting Function

著者名:阿部 馨督、天谷 賢治、青木 繁

ページ:31-35

• 境界要素法論文集(JASCOME) Vol. 20, (2003年12月),論文No. 10-031003

和文タイトル:境界要素法を用いた薄板構造の電場解析

英文タイトル:Electric field analysis of thin structure by boundary element method

著者名:阿部 馨督、天谷 賢治、青木 繁

ページ:41-44

• 日本機械学会論文集(Transactions of the Japan Society of Mechanical Engineers) A編 68巻666号(2002-2,平成14年2月)

和文タイトル:シリコンウェアへの電気めっきの最適化

英文タイトル:Optimization of Electroplating Silicon Wafer

著者名:青木 繁、天谷 賢治、阿部 馨督、宮坂 松甫

ページ:313-318

Conference

日本機械学会 第15回計算力学講演会(2002年11月2日〜11月4日)

        日本機械学会 第15回計算力学講演会 講演論文集 No.02-02

        和文タイトル:適切な基本解を利用した薄板構造を含むめっきの境界要素解析

        英文タイトル:Electroplating BEM Analysis for Thin Structure by Adequate Fundamental Solution

        著者名:阿部 馨督、天谷 賢治、青木 繁

        ページ:813-814

        場所:鹿児島大学

日本応用数理学会2002年度会(9月19日〜21日)

        日本応用数理学会 2002年度年会 プログラム 要旨集

        和文タイトル:LSI銅配線製造における電気めっきの最適化

        英文タイトル:Optimization of Electroplating on Silicon Wafer for Manufacturing LSI

        著者名:阿部 馨督、天谷 賢治、青木 繁

        ページ:97

        場所:慶応大学矢上キャンパス

日本機械学会 第14回計算力学講演会(2001年11月28日〜11月30日)

        日本機械学会 第14回計算力学講演会 講演論文集 No.01-10

        和文タイトル:逆解析を利用したシリコンウェハのめっき膜厚のモニタリング

        英文タイトル:Monitoring of Electroplating Thickness on Silicon Wafer using Inverse Analysis

        著者名:阿部 馨督、天谷 賢治、青木 繁

        ページ:195-196

        場所:北海道大学

日本機械学会 第13回計算力学講演会(2002年11月28日〜11月30日)

        日本機械学会 第13回計算力学講演会 講演論文集 No.00-17

        和文タイトル:シリコンウェハへの電気めっきの最適化

        英文タイトル:Optimization of Electroplating on Silicon Wafer

        著者名:阿部 馨督、青木 繁、天谷 賢治、宮坂 松甫

        ページ:315-316

        場所:豊橋-ホテル日航豊橋

Patent

特許申請中1件